產品用途 Product Usage
采用獨特的內外艙一體結構,結合內循環風道設計,通過耐高溫超高效過濾器H.E.P.A不斷對內部進行自凈化過濾,從而形成高潔凈、溫度均勻的密閉的潔凈無塵高溫烘烤環境。產品具有內部潔凈,自身不產塵,控溫精準,溫場分布均勻等眾多優點,廣泛應用于精密電子制造,半導體晶圓制造,大規模集成電路,生物制造、潔凈實驗室、航天航空等眾多工業領域。
風路循環種類 Type of Wind Circulation
結構設計 Structure & Design
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本設備包含鈑金箱體、加熱系統、熱風循環系統,溫度控制系統、過濾系統、充氮系統、安全保護系統。采用先進的鈑金焊接加工技術,結合工業級智能精密控溫技術,采用環保節能設計,進口耐高溫過濾器,設備密封性好、機械強度高、高潔凈度、易操控、高穩定性、安全性,符合國際審美觀的標準化整體式結構箱體;具有操作簡便、控制系統自動化程度高、系統運行穩定、無故障運行時間長等優點,產品達到國內先進水平。
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外箱體材料使用1.2mm厚度3A冷軋鋼板靜電雙面噴塑。內膽材料使用1.2mm~1.5mm厚SUS304#鏡面潔凈不銹鋼板。絕熱保溫材料使用100mm厚120K高密度硅酸鋁纖維保溫材料。使用進口溫度控制器,控溫精度0.3級,溫度分辨率±0.1℃,PID智能演算,自動恒溫,超溫抑制,傳感器斷線警報,斷電記憶,控溫精準,操控簡便,可選程序控溫功能或液晶屏幕顯示。
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采用耐高溫高效過濾器,過濾等級H13(99.95% -99.99% @0.3um)。配置進口耐高溫超細纖維芯材,連續耐溫300℃,不銹鋼外框,鋁箔隔層,進口高溫陶瓷膠密封。門邊框配置玻璃纖維耐高溫密封條。當設備開啟,熱風循環系統啟動,熱風循環通過高效過濾器H.E.P.A實現箱內自凈化。